中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共45条，第1-10条 帮助

限定条件                    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：573/121  |  提交时间：2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
Adobe PDF(3436Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/119  |  提交时间：2018/06/13
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：280/85  |  提交时间：2018/06/13
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者:  Liu, Z.-W.;  W.-H. Li;  J.-K. Wang;  S. Jiang;  Y. Song;  M.-Z. Pan and Bayanheshig
浏览  |  Adobe PDF(624Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/89  |  提交时间：2017/09/11
Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  H. Yu;  X. Li;  S. Zhang;  S. Jiang and L. Yin
浏览  |  Adobe PDF(1613Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/104  |  提交时间：2017/09/11
Development and error compensation of the high precision turntable 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 5
作者:  Yao, X.;  C. Sun;  J. Yang;  L. Yin and H. Zhao
浏览  |  Adobe PDF(1139Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/145  |  提交时间：2017/09/11
大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 09, 页码: 2057-2067
作者:  何煦;  成贤锴
caj(1827Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：252/97  |  提交时间：2016/07/06
中阶梯光栅  衍射效率  测试仪器  设计与标校  
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格;  唐玉国
caj(1313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：333/142  |  提交时间：2016/07/06
光栅  衍射光栅  光栅刻划机  气浮导轨  双频激光干涉仪  刀架系统  
大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 03, 页码: 745-752
作者:  糜小涛;  于宏柱;  于海利;  姚雪峰;  宋楠;  冯树龙;  齐向东
caj(388Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/92  |  提交时间：2016/07/06
光栅刻划机  衍射光纤  双拉杆结构  单拉杆结构  石英导轨  
精确可调单簧片式施压机构在摩擦驱动中的应用 期刊论文
机械设计与研究, 2015, 期号: 01, 页码: 1-4
作者:  陈琦
caj(391Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：248/79  |  提交时间：2016/07/06
等应力簧片  簧片刚度  偏心轮  摩擦驱动