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| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 148-156 作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华![](/image/person.jpg)
caj(3271Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:831/130  |  提交时间:2018/04/09 衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 |
| 光栅刻划刀具刃磨振动控制 期刊论文 长春工业大学学报, 2016, 期号: 6, 页码: 550-554 作者: 马海涛; 王珊珊; 吉日嘎兰图; 张赫鸣; 倪留强
caj(129Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:520/132  |  提交时间:2017/09/17 光栅刻划刀 刃磨 振动 串级控制 |
| 光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文 长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638 作者: 张成山; 孟庆孔
caj(242Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:290/68  |  提交时间:2015/04/17 光电式光栅刻划机 衍射光栅干涉仪 莫尔条纹 |
| 光栅机械刻划摩擦型颤振机理 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 11, 页码: 3061-3066 作者: 石广丰; 吕杨杨; 史国权; 吉日嘎兰图; 肖为
caj(690Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:327/123  |  提交时间:2015/04/17 光栅 机械刻划 摩擦型颤振 稳定性分析 |
| 光栅刻划系统等速凸轮机构设计 期刊论文 长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 511-515 作者: 宋楠
caj(323Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:267/73  |  提交时间:2015/04/17 等速凸轮 光栅刻划 振动 |
| 光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682 作者: 杨超; 于海利; 冯树龙; 李晓天; 齐向东; 姜珊; 唐玉国
caj(448Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:465/139  |  提交时间:2015/04/17 刻划刀架 刻划光栅 刻线弯曲 刻线位置误差 光栅光谱 |
| 光栅刻划机工作台导轨结构形式选择及试验 期刊论文 长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 506-510 作者: 冯树龙
caj(255Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:345/105  |  提交时间:2015/04/17 光栅刻划机 滚柱导轨 爬行 |
| 光栅刻划机导向导轨支撑结构刚度优化设计 期刊论文 长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 495-499 作者: 姚雪峰; 糜小涛; 宋楠
caj(806Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:503/95  |  提交时间:2015/04/17 光栅刻划机 刚度 有限元分析 模态 |
| 绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819 作者: 刘华 ; 卢振武 ; 熊峥; 王尧 ; 王鹤 ; 黄剑波 ; 谭向全 ; 孙强![](/image/person.jpg)
caj(500Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:370/146  |  提交时间:2015/04/17 绝对式光栅尺 光栅码道 母尺刻划 数字微镜器件 曝光头 计量光栅 |
| 光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182 作者: 李晓天; 于海利; 齐向东; 朱继伟; 于宏柱; 巴音贺希格
caj(724Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:386/116  |  提交时间:2015/04/17 光栅 光栅刻划机 宏微两级工作台 Bp神经网络 Pid控制 自适应控制 |