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| 机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究 期刊论文
机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40
作者: 张宝庆; 张绍泽; 曹聪; 高劲松
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机刻光栅 复合基底 残余应力 薄膜 压痕 模拟 |
| 中阶梯光栅拼接及复制技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 丛敏
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光栅拼接 中阶梯光栅 拼接误差 干涉法 误差分析 |
| 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 糜小涛
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衍射光栅 光栅刻划机 微定位系统 控制器设计 刻线误差 测量系统 余弦误差 阿贝误差 大气折射率 衍射波前 基底面形误差 镀膜均匀性 |
| 揭秘“精密机械之王” 期刊论文
中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62
作者: 唐玉国; 巴音贺希格; 竺长安; 金一
收藏 | 浏览/下载：217/0 | 提交时间：2019/09/17
大面积光栅 刻划光栅 光栅刻划机 超精密制造 |
| Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Mi, X.; H. Yu; H. Yu; X. Qi; X. Li and Q. Wan
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| Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者: Wang, W.; Bayanheshig; M. Pan; Y. Song and W. Li
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| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
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| Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者: Lu, Y.; X. Qi; H. Yu; X. Li; S. Zhang; S. Jiang and L. Yin
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| Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者: Lu, Y.; X. Qi; X. Mi; S. Jiang; H. Yu; X. Li and L. Yin
Adobe PDF(590Kb) | 收藏 | 浏览/下载：285/73 | 提交时间：2017/09/11 |
| Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者: Wang, W.; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang and M. Pan
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