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| 适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法 期刊论文 光学精密工程, 2018, 期号: 08, 页码: 1945-1953 作者: 姚东; 李钰鹏; 赵亚; 王智; 沙巍 ; 王永宪
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:236/0  |  提交时间:2019/09/17 激光干涉仪 氢氧离子催化黏接 高精度测量 高精度装配 空间太极计划 |
| 超大口径空间光学遥感器的应用和发展 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2613-2626 作者: 张学军; 樊延超 ; 鲍赫 ; 薛栋林![](/image/person.jpg)
caj(1046Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:406/146  |  提交时间:2017/09/17 超大口径空间遥感器 整体式成像系统 分块可展开成像系统 光学干涉合成孔径成像系统 衍射成像系统 综述 |
| 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141 作者: 刘兆武; 李文昊; 王敬开; 姜珊; 宋莹; 潘明忠; 巴音贺希格
caj(466Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:362/102  |  提交时间:2017/09/17 激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测 |
| 大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071 作者: 陈琦
caj(653Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:324/102  |  提交时间:2017/09/17 扫描干涉光刻系统 高精度工作台 气体静压导轨 摩擦驱动 纳米级定位 |
| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 1 作者: 谢耀 ; 王丽萍 ; 郭本银 ; 王君; 苗亮 ; 王辉 ; 周烽![](/image/person.jpg)
caj(532Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:336/118  |  提交时间:2017/09/17 成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 |
| 离轴三反空间相机主三镜共基准一体化结构 期刊论文 光学精密工程, 2015, 期号: 06, 页码: 1612-1619 作者: 沙巍 ; 陈长征 ; 许艳军 ; 张星祥 ; 刘磊 ; 王永宪; 李新娥![](/image/person.jpg)
caj(565Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:323/109  |  提交时间:2016/07/06 离轴三反空间相机 主镜 三镜 共基准 一体化结构 干涉检测 模态测试 离子束加工 |
| 用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法 期刊论文 光学精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 934-940 作者: 张敏; 隋永新 ; 杨怀江![](/image/person.jpg)
caj(433Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:231/95  |  提交时间:2016/07/06 拼接干涉检测 子孔径拼接 机械定位误差 补偿算法 大口径平面镜 |
| 极小孔径衍射波前测试分析 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2639-2644 作者: 邵晶; 马冬梅 ; 张海涛 ; 于杰 ; 周烽![](/image/person.jpg)
caj(431Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:485/107  |  提交时间:2015/04/17 光学检测 点衍射干涉仪 相位复原 衍射波前 |
| 基于光强自标定移相算法检测光学面形 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2007-2013 作者: 刘江; 苗二龙 ; 曲艺 ; 隋永新 ; 杨怀江![](/image/person.jpg)
caj(229Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:416/149  |  提交时间:2015/04/17 菲佐干涉仪 波长移相 移相算法 光强自标定 面形检测 |
| X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150 作者: 龚学鹏 ; 卢启鹏 ; 彭忠琦![](/image/person.jpg)
caj(308Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:288/114  |  提交时间:2015/04/17 上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试 |