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| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 李朋志![](/image/person.jpg)
caj(10011Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:192/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 压电促动器 迟滞 模糊 运动控制 像差补偿 |
| 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文 中国光学, 2017, 页码: 790-797 作者: 董世则; 郭抗 ; 李显凌; 陈华男 ; 张德福![](/image/person.jpg)
caj(1307Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:410/127  |  提交时间:2018/04/09 光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 |
| 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816 作者: 陈家华; 龚学鹏 ; 薛松; 卢启鹏 ; 彭忠琦 ; 宋源; 王依![](/image/person.jpg)
caj(440Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:471/123  |  提交时间:2018/04/09 同步辐射 光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜 结构设计 |
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文 中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581 作者: 张德福 ; 李显凌; 芮大为 ; 李朋志 ; 东立剑 ; 张建国![](/image/person.jpg)
caj(2036Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:604/139  |  提交时间:2018/04/09 集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| Seeing metrology of large aperture mirror of telescope 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10 作者: Yang, F.; Q.-C. An; J. Zhang; H.-C. Zhao; P. Guo and H.-B. Jiang
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| KB mirror system of X-ray photo-emission electron microscope beamline 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11 作者: Chen, J.-H.; X.-P. Gong; S. Xue; Q.-P. Lu; Z.-Q. Peng; Y. Song and Y. Wang
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| 狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6 作者: 董世则
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:239/0  |  提交时间:2017/09/17 狭缝柔性结构 光刻物镜 调节机构 导向精度 精度测试 |
| 高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文 电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281 作者: 尹志生 ; 李友如; 李佩玥 ; 郭抗 ; 李朋志![](/image/person.jpg)
caj(904Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:324/141  |  提交时间:2017/09/17 双频激光干涉仪 六自由度位姿检测 误差补偿 齐次变换 |
| 电容传感器线性度标定平台 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151 作者: 张德福 ; 葛川 ; 李显凌; 倪明阳 ; 郭抗![](/image/person.jpg)
caj(1959Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:305/103  |  提交时间:2017/09/17 电容传感器 线性度标定 标定平台 柔度矩阵 |
| Structrual design of detector for optical elements with large aperture 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24 作者: Huang, B.; X.-L. Li and H.-Q. Yang
Adobe PDF(2046Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:285/106  |  提交时间:2017/09/11 |