×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
登录
中文版
|
English
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
登录
注册
ALL
ORCID
题名
作者
学科领域
关键词
资助项目
文献类型
出处
收录类别
出版者
发表日期
存缴日期
学科门类
学习讨论厅
图片搜索
粘贴图片网址
首页
研究单元&专题
作者
文献类型
学科分类
知识图谱
新闻&公告
在结果中检索
研究单元&专题
中科院长春光机所知... [15]
作者
文献类型
期刊论文 [15]
发表日期
2017 [2]
2016 [3]
2015 [5]
2014 [3]
2011 [2]
语种
中文 [8]
出处
Zhongguo J... [5]
Guangxue J... [4]
Yi Qi Yi B... [3]
Guangxue X... [1]
光学 精密工程 [1]
光学学报 [1]
更多...
资助项目
收录类别
EI [15]
资助机构
×
知识图谱
CIOMP OpenIR
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共15条,第1-10条
帮助
限定条件
收录类别:EI
文献类型:期刊论文
专题:中科院长春光机所知识产出
第一作者的第一单位
第一作者单位
通讯作者单位
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
提交时间升序
提交时间降序
题名升序
题名降序
作者升序
作者降序
期刊影响因子升序
期刊影响因子降序
发表日期升序
发表日期降序
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:
Mi, X.
;
H. Yu
;
H. Yu
;
X. Qi
;
X. Li and Q. Wan
浏览
  |  
Adobe PDF(3436Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:355/129
  |  
提交时间:2018/06/13
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:
Wang, W.
;
S. Jiang
;
Y. Song and Bayanheshig
浏览
  |  
Adobe PDF(4373Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:292/96
  |  
提交时间:2018/06/13
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者:
Liu, Z.-W.
;
W.-H. Li
;
J.-K. Wang
;
S. Jiang
;
Y. Song
;
M.-Z. Pan and Bayanheshig
浏览
  |  
Adobe PDF(624Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:320/99
  |  
提交时间:2017/09/11
Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:
Lu, Y.
;
X. Qi
;
H. Yu
;
X. Li
;
S. Zhang
;
S. Jiang and L. Yin
浏览
  |  
Adobe PDF(1613Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:329/112
  |  
提交时间:2017/09/11
Development and error compensation of the high precision turntable
期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 5
作者:
Yao, X.
;
C. Sun
;
J. Yang
;
L. Yin and H. Zhao
浏览
  |  
Adobe PDF(1139Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:439/169
  |  
提交时间:2017/09/11
Active control technology to correct the quality of the grating wave-front
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1
作者:
Yang, C.
;
H. Yu
;
S. Zhang
;
H. Yu
;
X. Li and Y. Tang
浏览
  |  
Adobe PDF(1479Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:382/119
  |  
提交时间:2016/08/24
Design and analysis of diamond carrier aerostatic guideway in large diffraction grating ruling engine
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 4
作者:
Song, N.
;
S. Feng
;
H. Yu
;
X. Qi
;
Bayanheshig and Y. Tang
浏览
  |  
Adobe PDF(1451Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:356/87
  |  
提交时间:2016/08/24
Design of a varied-line-space plane grating in EUV spectrum
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 1
作者:
Jiang, Y.
;
Bayanheshig
;
S. Yang
;
X. Zhao
;
W. Li and N. Wu
浏览
  |  
Adobe PDF(1560Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:402/120
  |  
提交时间:2016/08/24
Design and integration of the measurement instrument for diffraction efficiency of large echelle
期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 9, 页码: 2057-2067
作者:
He, X. and X. Cheng
浏览
  |  
Adobe PDF(2028Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:297/88
  |  
提交时间:2016/08/24
Design of the controller of the micro-positioning system for large diffraction grating ruling engine
期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 473-480
作者:
Mi, X.
;
H. Yu
;
J. Gao
;
H. Yu
;
S. Zhang and X. Qi
Adobe PDF(672Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:401/107
  |  
提交时间:2016/08/24