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| 用于高集成光谱技术的多层楔形薄膜滤光片研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 唐昊龙
 caj(6547Kb) |  收藏 | 浏览/下载：137/0 | 提交时间：2020/08/24
光学薄膜 高集成光谱探测 楔形薄膜 膜系设计 离子束溅射 |
| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者: 毕丹丹; 张立超 ; 时光
收藏 | 浏览/下载：220/0 | 提交时间：2019/09/17
浸没式光刻 光学薄膜 膜系设计 环境适应性 激光辐照寿命 |
| 基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制 期刊论文
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者: 匡尚奇; 张超; 李硕; 杨海贵; 霍同林; 周洪军
收藏 | 浏览/下载：217/0 | 提交时间：2019/09/17
光学多层膜 膜系设计 量子遗传算法 宽带极紫外多层膜 离散化设计 |
| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 毕丹丹
caj(4243Kb) | 收藏 | 浏览/下载：250/0 | 提交时间：2019/09/23
光学薄膜 浸没式光刻 大角度保偏膜系 浸液环境寿命 激光辐照寿命 |
| 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者: 梅雪峰; 匡尚奇; 谢耀
 caj(1233Kb) | 收藏 | 浏览/下载：390/206 | 提交时间：2017/09/17
Euv多层膜 量子进化算法 膜系设计 |
| 基于聚类全局优化算法的薄膜设计优化技术的研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 09, 页码: 373-378
作者: 李资政; 杨海贵; 王笑夷; 王彤彤; 申振峰; 高劲松
caj(1279Kb) | 收藏 | 浏览/下载：288/91 | 提交时间：2016/07/06
薄膜 膜系设计优化 聚类算法 全局优化算法 |
| 深紫外光刻光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 169-181
作者: 张立超; 才玺坤; 时光
caj(474Kb) | 收藏 | 浏览/下载：290/147 | 提交时间：2016/07/06
深紫外光刻 超精密光学 膜系设计 光学性能保障 环境适应性 |
| 膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者: 尚红波; 刘春来; 张巍; 陈华男
caj(1604Kb) | 收藏 | 浏览/下载：312/69 | 提交时间：2016/07/06
光学制造 投影光刻物镜 膜系 偏振像差 对比度 |
| 1555nm宽带通滤光膜的设计和优化 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 557-562
作者: 张金胜; 张金龙; 宁永强; 王立军
caj(191Kb) | 收藏 | 浏览/下载：472/139 | 提交时间：2014/03/07
带通滤光膜 膜系设计 薄膜制备 |
| COIL用薄膜90°位相延迟高反射镜的研制 期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 期号: 02, 页码: 161-163
作者: 李刚; 公发全; 刘万发; 孙龙; 孙连春
caj(251Kb) | 收藏 | 浏览/下载：393/70 | 提交时间：2013/03/11
氧碘化学激光器 位相延迟 倍频膜系 |
