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Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
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Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
基于聚类全局优化算法的薄膜设计优化技术的研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 09, 页码: 373-378
作者:  李资政;  杨海贵;  王笑夷;  王彤彤;  申振峰;  高劲松
caj(1279Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：268/89  |  提交时间：2016/07/06
薄膜  膜系设计优化  聚类算法  全局优化算法  
P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  靳京城
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ArF准分子激光高反射薄膜技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  常艳贺
Adobe PDF(4081Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：602/1  |  提交时间：2014/08/21