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| Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者: 孙诗壮; 金春水 ; 喻波; 郭涛; 姚舜; 李春; 邓文渊
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薄膜 Mo/Si多层膜 极紫外光刻 磁控溅射 表面粗糙度 功率谱密度 |
| 非视线紫外光大气散射特性研究 学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 王晓芳
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紫外光 单次散射 多次散射 蒙特卡洛方法 指向概率法 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
caj(411Kb) | 收藏 | 浏览/下载：466/150 | 提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 星载紫外环形光谱仪科学数据处理的设计与实现 期刊论文
液晶与显示, 2017, 页码: 387-393
作者: 吴伟平; 孙海江
caj(291Kb) | 收藏 | 浏览/下载：318/113 | 提交时间：2018/04/09
紫外光谱 光谱积分法 暗噪声 环形光谱仪 数据处理 |
| 基于蒙特卡罗方法的紫外光大气散射传输模型 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 页码: 49-56
作者: 王晓芳; 张新; 张继真; 王灵杰
caj(1532Kb) | 收藏 | 浏览/下载：559/165 | 提交时间：2018/04/09
大气光学 紫外光 散射 蒙特卡罗方法 指向概率法 脉冲响应 能量密度 |
| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者: 王依; 卢启鹏; 高云国
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薄膜 极紫外光刻 碳污染 清洗技术 反射率 |
| 碲化铯阴极紫外光子成像探测器的研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者: 向秋东
收藏 | 浏览/下载：356/0 | 提交时间：2017/09/17
紫外光子计数成像探测器 碲化铯光电阴极 楔条形阳极 位置读出电路 |
| GaN纳米线的制备及光催化性能研究 期刊论文
电子科技, 2016, 期号: 8, 页码: 140-144
作者: 李佳; 姜涛; 程宏斌; 郑学军; 王现英; 吴东旭
caj(282Kb) | 收藏 | 浏览/下载：468/112 | 提交时间：2017/09/17
Gan 纳米线 罗丹明b 紫外光 光催化 |
| 应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展 期刊论文
科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127
作者: 鹿国庆; 吴义恒; 李伶俐; 卢启鹏
caj(280Kb) | 收藏 | 浏览/下载：415/183 | 提交时间：2017/09/17
极紫外光刻 光刻胶 平衡关系 材料设计 |
| 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者: 喻波; 李春; 金春水; 王春忠
收藏 | 浏览/下载：281/0 | 提交时间：2017/09/17
薄膜 极紫外光刻 宽带多层膜 Mo/si多层膜 |
