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极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：388/127  |  提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜  
星载紫外环形光谱仪科学数据处理的设计与实现 期刊论文
液晶与显示, 2017, 页码: 387-393
作者:  吴伟平;  孙海江
caj(291Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：259/93  |  提交时间：2018/04/09
紫外光谱  光谱积分法  暗噪声  环形光谱仪  数据处理  
基于蒙特卡罗方法的紫外光大气散射传输模型 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 页码: 49-56
作者:  王晓芳;  张新;  张继真;  王灵杰
caj(1532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：388/119  |  提交时间：2018/04/09
大气光学  紫外光  散射  蒙特卡罗方法  指向概率法  脉冲响应  能量密度  
碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:  王依;  卢启鹏;  高云国
caj(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：337/114  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  极紫外光刻  碳污染  清洗技术  反射率