中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共88条，第1-10条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:  吴越;  王丽萍;  于杰;  张旭;  金春水
浏览  |  Adobe PDF(2477Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：195/71  |  提交时间：2022/06/29
Design of off-axis multi-reflective optical system based on particle swarm optimization 期刊论文
Chinese Optics, 2021, 卷号: 14, 期号: 6, 页码: 1435-1450
作者:  Y. Wu;  L.-P. Wang;  J. Yu;  X. Zhang and C.-S. Jin
浏览  |  Adobe PDF(2477Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：109/46  |  提交时间：2022/06/13
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：175/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：193/0  |  提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜  
Tolerance Sensitivity Research of Nano-star Sensor Optical System with Large Field 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2019, 卷号: 48, 期号: 5
作者:  K.Zhang;  X.Zhong;  Y.Meng;  J.Liu
浏览  |  Adobe PDF(5148Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：155/42  |  提交时间：2020/08/24
Optical systems,Aberrations,Fits and tolerances,Lenses,Nanosensors,Sensitivity analysis,Stars  
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
caj(4184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/0  |  提交时间：2019/09/23
系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度  
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
收藏  |  浏览/下载：124/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光栅  相位  干涉  串扰  重复精度  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
Adobe PDF(2727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：292/117  |  提交时间：2019/09/17
Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:  Dong, Guanji;  Tang, Feng;  Wang, Xiangzhao;  Feng, Peng;  Guo, Fudong;  Peng, Changzhe
浏览  |  Adobe PDF(4169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/107  |  提交时间：2019/09/17
Interferometry  CCD cameras  Diffraction  Imaging systems  Measurement  Uncertainty analysis  
High-precision position control of a gene sequencer motion stage 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2455-2462
作者:  Fu, Yun-Bo;  Guo, Tong-Jian
浏览  |  Adobe PDF(854Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/162  |  提交时间：2019/09/17
Controllers  Computer control systems  Equations of motion  Frequency domain analysis  Genes  Permanent magnets  Position control  Synchronous motors