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拼接式望远镜光学共相探测技术 期刊论文
激光与光电子学进展, 2020, 卷号: 57, 期号: 23, 页码: 87-99
作者:  张龙;  王孝坤;  程强;  王若秋
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测量与计量  拼接式望远镜  波前探测  平移误差  倾斜误差  
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
caj(4184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：260/0  |  提交时间：2019/09/23
系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
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Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts  
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:  方超;  向阳
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测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原  
光学成像系统光学波前的高精度测试 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 11, 页码: 2582-2588
作者:  马冬梅;  聂真威
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点衍射干涉仪基准波前测试技术研究 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 5, 页码: 0508003-1-6
作者:  马冬梅
Adobe PDF(462Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：617/223  |  提交时间：2012/05/11