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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
caj(4184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：260/0  |  提交时间：2019/09/23
系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度  
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
收藏  |  浏览/下载：115/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光栅  相位  干涉  串扰  重复精度  
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:  Zhang, Lu;  Xiang, Yang
浏览  |  Adobe PDF(685Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：257/103  |  提交时间：2019/09/17
Shearing  Aberrations  Errors  Interferometers  Measurement  Wavefronts  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
浏览  |  Adobe PDF(403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：259/100  |  提交时间：2019/09/17
Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts  
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:  方超;  向阳
caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：344/87  |  提交时间：2015/04/17
测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原