中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共44条，第1-10条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
月基极紫外相机Mo/Si多层膜反射镜的空间质子辐照稳定性 期刊论文
激光杂志, 2021, 卷号: 42, 期号: 11, 页码: 24-29
作者:  李云鹏;  陈波;  吕鹏;  杨洪臣;  王华朋
浏览  |  Adobe PDF(1578Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/65  |  提交时间：2022/06/29
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
浏览  |  Adobe PDF(985Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：496/151  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  匡尚奇;  李硕;  杨海贵;  霍同林;  周洪军
收藏  |  浏览/下载：179/0  |  提交时间：2019/09/17
多层膜设计  极紫外  离散化设计  宽带多层膜  
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/135  |  提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜  
Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者:  Kuang, S.-Q.;  C. Zhang;  Y.-M. Wang;  X.-Y. Zhou and Y. Xie
浏览  |  Adobe PDF(867Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/107  |  提交时间：2018/06/13
Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:  Song, Y.;  Q.-P. Lu;  X.-P. Gong;  Y. Wang and Z.-Q. Peng
浏览  |  Adobe PDF(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/118  |  提交时间：2018/06/13
Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:  Zhang, C.;  J. Zhang;  Y. Wang;  S. Kuang and Y. Xie
浏览  |  Adobe PDF(1065Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/93  |  提交时间：2018/06/13
Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Wang, X.;  C. Jin;  C. Li and S. Kuang
浏览  |  Adobe PDF(1950Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/122  |  提交时间：2016/08/24
远紫外感应式阳极光子计数成像探测器研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  韩素立
Adobe PDF(3119Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/1  |  提交时间：2014/08/21
极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  鹿国庆
Adobe PDF(1786Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：493/1  |  提交时间：2014/08/21