已选(0)清除
条数/页: 排序方式: |
| Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文 光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53 作者: 孙诗壮; 金春水; 喻波; 郭涛; 姚舜; 李春; 邓文渊 浏览  |  Adobe PDF(3802Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:277/104  |  提交时间:2021/07/06 原子与分子物理学 分子动力学 反射 再溅射 Mo/Si原子 角度分布 能量分布 |
| Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文 光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202 作者: 孙诗壮; 金春水; 喻波; 郭涛; 姚舜; 李春; 邓文渊 浏览  |  Adobe PDF(2105Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:192/48  |  提交时间:2021/07/06 薄膜 Mo/Si多层膜 极紫外光刻 磁控溅射 表面粗糙度 功率谱密度 |
| 极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143 作者: 王君; 王丽萍; 金春水; 苗亮; 谢耀 caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:340/100  |  提交时间:2016/07/06 光学设计 极紫外光刻 可视化界面 初始结构 |
| 极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418 作者: 王珣; 金春水; 李春; 匡尚奇 caj(1793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:289/115  |  提交时间:2016/07/06 薄膜 极紫外保护层 直流反应磁控溅射 迟滞回线 |
| 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142 作者: 代晓珂; 金春水; 王丽萍; 于杰 caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:371/115  |  提交时间:2015/04/17 光学设计 极紫外光刻 光纤点衍射 球面参考源 偏振控制 |
| 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150 作者: 王君; 金春水; 王丽萍; 郭本银; 喻波 caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:494/181  |  提交时间:2015/04/17 成像系统 光学设计 极紫外光刻 等效工作界面 多层膜 能量守恒 |
| 极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305 作者: 王珣; 金春水; 匡尚奇; 喻波; 金方圆 caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:423/105  |  提交时间:2015/04/17 薄膜 极紫外光刻 碳沉积模型 迭代法 |
| 极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文 光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152 作者: 王君; 金春水; 王丽萍; 卢增雄 caj(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:554/103  |  提交时间:2013/03/11 X射线光学 极紫外光刻 分辨率增强 离轴照明阴影效应 光刻胶 |
| 提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备 期刊论文 光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 289-294 作者: 祝文秀; 金春水; 匡尚奇; 喻波 caj(902Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:575/136  |  提交时间:2013/03/11 薄膜 多层膜 光谱纯度 极紫外 |
| 照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析 期刊论文 光学学报, 2012, 期号: 08, 页码: 82-88 作者: 卢增雄; 金春水; 马冬梅 caj(2131Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:509/113  |  提交时间:2013/03/11 光学设计 点衍射干涉仪 矢量衍射 照明物镜像差 波面偏差 强度均匀性 |