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极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  卢增雄
caj(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：531/101  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  极紫外光刻  分辨率增强  离轴照明阴影效应  光刻胶  
照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 08, 页码: 82-88
作者:  卢增雄;  金春水;  马冬梅
caj(2131Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：481/107  |  提交时间：2013/03/11
光学设计  点衍射干涉仪  矢量衍射  照明物镜像差  波面偏差  强度均匀性  
可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  卢增雄;  金春水;  王丽萍
Adobe PDF(376Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：630/92  |  提交时间：2012/08/29