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适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 08, 页码: 1945-1953
作者:  姚东;  李钰鹏;  赵亚;  王智;  沙巍;  王永宪
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激光干涉仪  氢氧离子催化黏接  高精度测量  高精度装配  空间太极计划  
超大口径空间光学遥感器的应用和发展 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2613-2626
作者:  张学军;  樊延超;  鲍赫;  薛栋林
caj(1046Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：406/146  |  提交时间：2017/09/17
超大口径空间遥感器  整体式成像系统  分块可展开成像系统  光学干涉合成孔径成像系统  衍射成像系统  综述  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：362/102  |  提交时间：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/102  |  提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位  
微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮;  王辉;  周烽
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：335/118  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦  
离轴三反空间相机主三镜共基准一体化结构 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 06, 页码: 1612-1619
作者:  沙巍;  陈长征;  许艳军;  张星祥;  刘磊;  王永宪;  李新娥
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离轴三反空间相机  主镜  三镜  共基准  一体化结构  干涉检测  模态测试  离子束加工  
用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 934-940
作者:  张敏;  隋永新;  杨怀江
caj(433Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：231/95  |  提交时间：2016/07/06
拼接干涉检测  子孔径拼接  机械定位误差  补偿算法  大口径平面镜  
极小孔径衍射波前测试分析 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2639-2644
作者:  邵晶;  马冬梅;  张海涛;  于杰;  周烽
caj(431Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：485/107  |  提交时间：2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  相位复原  衍射波前  
基于光强自标定移相算法检测光学面形 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2007-2013
作者:  刘江;  苗二龙;  曲艺;  隋永新;  杨怀江
caj(229Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/149  |  提交时间：2015/04/17
菲佐干涉仪  波长移相  移相算法  光强自标定  面形检测  
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150
作者:  龚学鹏;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：288/114  |  提交时间：2015/04/17
上海同步辐射光源  X射线干涉光刻  偏转镜  结构设计  精度测试