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| 基于神经网络的机器人抛光材料去除提升模型(英文) 期刊论文 红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 03, 页码: 231-238 作者: 余熠; 孔令豹; 张海涛; 徐敏; 王丽萍 caj(1949Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:267/45  |  提交时间:2020/08/24 机器人抛光 材料去除 机器学习 深度神经网络 建模与仿真 |
| 一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文 激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128 作者: 郭本银; 谢耀; 于杰; 王丽萍; 苗亮 caj(1232Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:258/106  |  提交时间:2017/09/17 测量 长期稳定性 敏感矩阵 奇异值分解 |
| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 1 作者: 谢耀; 王丽萍; 郭本银; 王君; 苗亮; 王辉; 周烽 caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:336/118  |  提交时间:2017/09/17 成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 |
| 极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143 作者: 王君; 王丽萍; 金春水; 苗亮; 谢耀 caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:375/110  |  提交时间:2016/07/06 光学设计 极紫外光刻 可视化界面 初始结构 |
| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272 作者: 王辉; 周烽; 喻波; 谢耀; 于杰; 刘钰; 王丽萍 caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:361/131  |  提交时间:2016/07/06 测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| 光纤相移点衍射干涉仪关键技术 期刊论文 红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259 作者: 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍 caj(1235Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:296/99  |  提交时间:2016/07/06 高精度检测 光纤相移点衍射干涉仪 光学系统波像差 激光光源 光纤 |
| 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142 作者: 代晓珂; 金春水; 王丽萍; 于杰 caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:388/118  |  提交时间:2015/04/17 光学设计 极紫外光刻 光纤点衍射 球面参考源 偏振控制 |
| 微缩投影系统的计算机辅助装调 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108 作者: 谢耀; 于杰; 王丽萍; 王辉; 周烽 caj(208Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:400/116  |  提交时间:2015/04/17 微缩投影系统 集成装调 计算机辅助装调 敏感度矩阵 奇异值分解 |
| 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150 作者: 王君; 金春水; 王丽萍; 郭本银; 喻波 caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:526/189  |  提交时间:2015/04/17 成像系统 光学设计 极紫外光刻 等效工作界面 多层膜 能量守恒 |
| 双光纤相移点衍射干涉仪装调技术 期刊论文 红外与激光工程, 2014, 期号: 1, 页码: 145-150 作者: 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍 caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:342/103  |  提交时间:2015/04/17 装调技术 双光纤相移点衍射干涉仪 光学系统波像差 光学检测 |