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| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福 ; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑; 张建国
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集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| 大偏离度非球面检测畸变校正方法 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 383-390
作者: 高松涛; 武东城; 苗二龙
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计算全息图 Cgh 畸变 非球面检测 |
| Absolute Solar Spectral Irradiance Measurement and Its Calibration Monochromator 期刊论文
Faguang Xuebao/Chinese Journal of Luminescence, 2017, 卷号: 38, 期号: 8
作者: Jia, R.-D.; Z.-W. Xia; Y.-P. Wang and W. Fang
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| Image restoration and reconstruction based on simple lenses computational imaging 期刊论文
Jilin Daxue Xuebao (Gongxueban)/Journal of Jilin University (Engineering and Technology Edition), 2017, 卷号: 47, 期号: 3
作者: Wang, X.-H.; J.-K. Hao; W. Huang and J.-H. Ouyang
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| Super-resolution reconstruction of infrared images based on micro-scanner 期刊论文
Jilin Daxue Xuebao (Gongxueban)/Journal of Jilin University (Engineering and Technology Edition), 2017, 卷号: 47, 期号: 1
作者: Wang, X.-H.; J.-H. Ouyang; G. Zhang and Y. He
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| 狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者: 董世则
 收藏 | 浏览/下载：239/0 | 提交时间：2017/09/17
狭缝柔性结构 光刻物镜 调节机构 导向精度 精度测试 |
| 宽谱段共光轴线色散成像光谱仪三棱镜分光系统设计 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2016, 期号: 5, 页码: 1543-1548
作者: 刘兵; 刘英; 张晓龙; 李灿; 王健; 李淳; 孙强
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三棱镜组合 线色散 共光轴 直视结构 宽谱段 成像光谱仪 |
| 径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 276-283
作者: 贾树强; 黄玮; 徐象如; 姚长呈
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光学器件 表面变形 面形补偿 预紧力 有限元方法 |
| 掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者: 杨旺; 黄玮; 尚红波
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光刻 光学设计 光刻投影物镜 畸变 勒让德多项式 公差分析 |
| 多光谱消色差成像流式细胞仪的光学系统设计 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 9, 页码: 257-266
作者: 李灿; 郭帮辉; 孙竹
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光学设计 成像流式细胞仪 宽波段 |
