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全无机钙钛矿CVD制备方法及光电器件的研制 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  田灿灿
caj(7975Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:285/0  |  提交时间:2020/08/24
化学气相沉积  全无机钙钛矿  光电探测器  自驱动  热稳定性  p-i-n结构  Schottky接触  
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:239/0  |  提交时间:2020/08/24
投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜  
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:638/142  |  提交时间:2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者:  尹志生;  李友如;  李佩玥;  郭抗;  李朋志
caj(904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:345/152  |  提交时间:2017/09/17
双频激光干涉仪  六自由度位姿检测  误差补偿  齐次变换  
Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者:  Xu, M.-F.;  W.-B. Pang;  X.-R. Xu;  X.-H. Wang and W. Huang
浏览  |  Adobe PDF(487Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:329/92  |  提交时间:2017/09/11
用于数字PCR的微滴生成及检测芯片研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  贾朋飞
Adobe PDF(3011Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:430/4  |  提交时间:2016/04/11
荧光偏振免疫分析  荧光  非成像光学理论  光学系统设计  
微惯性测量单元标定技术及误差补偿研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  韦宗喜
Adobe PDF(1529Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:239/2  |  提交时间:2016/04/11
微惯性测量单元  静态误差标定  温度误差补偿  整体标定  随 机误差建模  
CCD相机成像系统调制传递函数测量方法的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  官明朕
Adobe PDF(2152Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:319/3  |  提交时间:2016/04/11
调制传递函数(Mtf)  倾斜刃边法  Ccd相机  
压电陶瓷两维偏摆镜驱动系统的设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  吴伊玲
Adobe PDF(2287Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:417/2  |  提交时间:2016/04/11
压电陶瓷  两维偏摆镜  驱动控制系统  改进非对称pi迟滞模型  前馈pid控制  
基于迭代方法的的高精度非球面补偿镜设计与检测 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  李乐
Adobe PDF(3433Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:357/1  |  提交时间:2015/05/03
非球面检测  补偿镜  迭代  公差分配  折射率均匀性