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改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:  匡尚奇;  张超;  王一名;  周祥燕;  谢耀
caj(654Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/123  |  提交时间：2018/04/09
薄膜光学  多层膜设计  改进型量子进化算法  宽带极紫外多层膜  
Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者:  Kuang, S.-Q.;  C. Zhang;  Y.-M. Wang;  X.-Y. Zhou and Y. Xie
浏览  |  Adobe PDF(867Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/111  |  提交时间：2018/06/13
Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:  Zhang, C.;  J. Zhang;  Y. Wang;  S. Kuang and Y. Xie
浏览  |  Adobe PDF(1065Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/95  |  提交时间：2018/06/13
量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者:  梅雪峰;  匡尚奇;  谢耀
caj(1233Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：404/215  |  提交时间：2017/09/17
Euv多层膜  量子进化算法  膜系设计  
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：255/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:  Yu, B.;  C. Li;  C. Jin and C. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1342Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/78  |  提交时间：2017/09/11
基于氧化物的0.8～1.7μm和3.7～4.8μm硬质宽带红外增透膜研制 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 816-822
作者:  王彤彤
caj(368Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：305/110  |  提交时间：2015/04/17
红外增透膜  硫化锌  等离子辅助  双波段增透膜  
黄光激光器聚光元件减反膜的研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2013, 期号: 05, 页码: 7-10
作者:  付秀华;  麻晓丹;  文大化
caj(1335Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/94  |  提交时间：2014/03/07
黄光激光器  双波段减反膜  离子束辅助沉积  有效界面法  
1555nm宽带通滤光膜的设计和优化 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 557-562
作者:  张金胜;  张金龙;  宁永强;  王立军
caj(191Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：479/143  |  提交时间：2014/03/07
带通滤光膜  膜系设计  薄膜制备