已选(0)清除
条数/页: 排序方式: |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056 作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀![](/image/person.jpg)
caj(654Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:426/123  |  提交时间:2018/04/09 薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8 作者: Kuang, S.-Q.; C. Zhang; Y.-M. Wang; X.-Y. Zhou and Y. Xie
浏览  |   Adobe PDF(867Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:343/111  |  提交时间:2018/06/13 |
| Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6 作者: Zhang, C.; J. Zhang; Y. Wang; S. Kuang and Y. Xie
浏览  |   Adobe PDF(1065Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:332/95  |  提交时间:2018/06/13 |
| 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文 长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4 作者: 梅雪峰; 匡尚奇; 谢耀![](/image/person.jpg)
caj(1233Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:404/215  |  提交时间:2017/09/17 Euv多层膜 量子进化算法 膜系设计 |
| 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166 作者: 喻波 ; 李春 ; 金春水 ; 王春忠
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:255/0  |  提交时间:2017/09/17 薄膜 极紫外光刻 宽带多层膜 Mo/si多层膜 |
| Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4 作者: Yu, B. ; C. Li; C. Jin and C. Wang
浏览  |   Adobe PDF(1342Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:360/78  |  提交时间:2017/09/11 |
| 基于氧化物的0.8~1.7μm和3.7~4.8μm硬质宽带红外增透膜研制 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 816-822 作者: 王彤彤![](/image/person.jpg)
caj(368Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:305/110  |  提交时间:2015/04/17 红外增透膜 硫化锌 等离子辅助 双波段增透膜 |
| 黄光激光器聚光元件减反膜的研究 期刊论文 长春理工大学学报(自然科学版), 2013, 期号: 05, 页码: 7-10 作者: 付秀华; 麻晓丹; 文大化![](/image/person.jpg)
caj(1335Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:394/94  |  提交时间:2014/03/07 黄光激光器 双波段减反膜 离子束辅助沉积 有效界面法 |
| 1555nm宽带通滤光膜的设计和优化 期刊论文 中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 557-562 作者: 张金胜; 张金龙 ; 宁永强 ; 王立军![](/image/person.jpg)
caj(191Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:479/143  |  提交时间:2014/03/07 带通滤光膜 膜系设计 薄膜制备 |