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黄光激光器聚光元件减反膜的研究
付秀华; 麻晓丹; 文大化
2013-10-15
发表期刊长春理工大学学报(自然科学版)
期号05页码:7-10
摘要为满足589nm黄光激光器聚光元件双波段减反膜的使用要求,根据有效界面法设计原理设计膜系,以Ta2O5和SiO2为镀膜材料,使用TFC膜系设计软件对膜系进行优化,运用电子束蒸发方法和离子束辅助沉积方法,在零膨胀玻璃上镀制589nm反射率在2%~3%之间、1064nm反射率小于1%的双波段减反膜,通过膜系结构和工艺参数的优化解决了589nm反射率在2%~3%之间难以控制的问题,获得了符合聚光元件使用要求的减反射薄膜。
关键词黄光激光器 双波段减反膜 离子束辅助沉积 有效界面法
收录类别CNKI
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38407
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
付秀华,麻晓丹,文大化. 黄光激光器聚光元件减反膜的研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2013(05):7-10.
APA 付秀华,麻晓丹,&文大化.(2013).黄光激光器聚光元件减反膜的研究.长春理工大学学报(自然科学版)(05),7-10.
MLA 付秀华,et al."黄光激光器聚光元件减反膜的研究".长春理工大学学报(自然科学版) .05(2013):7-10.
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