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Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:  张超;  张杰瑞;  王一名;  匡尚奇;  谢耀
caj(892Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/130  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  多层膜设计  量子进化算法  宽角度极紫外多层膜  
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇
caj(1793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/115  |  提交时间：2016/07/06
薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线  
极紫外波段平面变栅距全息光栅的优化设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 45-55
作者:  姜岩秀;  巴音贺希格;  杨硕;  赵旭龙;  李文昊;  吴娜
caj(1349Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：351/115  |  提交时间：2016/07/06
光栅  变栅距全息光栅  刻线密度  改进的局部结合优化算法  分辨率  
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：425/105  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法  
提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 289-294
作者:  祝文秀;  金春水;  匡尚奇;  喻波
caj(902Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：576/136  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  多层膜  光谱纯度  极紫外  
投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122003-1-4
作者:  杨旺
Adobe PDF(401Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：372/104  |  提交时间：2012/05/11
温度对Fizeau干涉仪测量重复性的影响 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1212008
作者:  苗二龙;  谷勇强
Adobe PDF(728Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：421/124  |  提交时间：2012/05/11
微小孔偏差对远场波前质量影响分析 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 0812002-1
作者:  金春水;  马冬梅;  张海涛
Adobe PDF(1354Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：465/151  |  提交时间：2012/05/11
WolterⅠ型反射镜面形检测装置的改进 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 4, 页码: 0412007-1
作者:  张宏吉;  陈波
Adobe PDF(1586Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：580/142  |  提交时间：2012/05/11