Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿 | |
| 杨旺 | |
| 2011-11-19 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| ISSN | 0253-2239 |
| 卷号 | 31期号:11页码:1122003-1-4 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3738 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨旺. 投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿[J]. 光学学报,2011,31(11):1122003-1-4. |
| APA | 杨旺.(2011).投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿.光学学报,31(11),1122003-1-4. |
| MLA | 杨旺."投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿".光学学报 31.11(2011):1122003-1-4. |
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