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| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者: 谢耀 ; 王丽萍; 郭本银; 王君; 苗亮; 王辉; 周烽
 caj(532Kb) |  收藏 | 浏览/下载：293/100 | 提交时间：2017/09/17
成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 |
| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者: 王辉; 周烽; 喻波; 谢耀; 于杰; 刘钰; 王丽萍
caj(1280Kb) | 收藏 | 浏览/下载：339/117 | 提交时间：2016/07/06
测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| 极小孔径衍射波前测试分析 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2639-2644
作者: 邵晶; 马冬梅; 张海涛; 于杰; 周烽
caj(431Kb) | 收藏 | 浏览/下载：430/94 | 提交时间：2015/04/17
光学检测 点衍射干涉仪 相位复原 衍射波前 |
| 微缩投影系统的计算机辅助装调 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108
作者: 谢耀; 于杰; 王丽萍; 王辉; 周烽
caj(208Kb) | 收藏 | 浏览/下载：361/107 | 提交时间：2015/04/17
微缩投影系统 集成装调 计算机辅助装调 敏感度矩阵 奇异值分解 |
| 望远镜副镜三自由度并联支撑的运动研究 期刊论文
中国科学技术大学学报, 2013, 期号: 10, 页码: 775-781
作者: 王永; 姚太克; 张丽敏; 周烽; 周翕
caj(466Kb) | 收藏 | 浏览/下载：489/148 | 提交时间：2014/03/07
副镜支撑 三自由度并联机构 运动学建模 轨迹规划 可视化仿真 |
| 高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140
作者: 王辉; 于杰; 周烽; 王丽萍
caj(551Kb) | 收藏 | 浏览/下载：558/136 | 提交时间：2013/03/11
测量 极紫外光刻 高重复性干涉仪 有限元分析 检测支撑 |
| 干涉测量框架结构设计及稳定性分析 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 132-135
作者: 周烽; 王辉; 王丽萍
caj(404Kb) | 收藏 | 浏览/下载：528/140 | 提交时间：2013/03/11
测量 稳定性分析 干涉测量框架 有限元分析 随机振动分析 |
| 一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-20, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 王辉; 周烽; 王丽萍; 金春水
Adobe PDF(322Kb) | 收藏 | 浏览/下载：468/59 | 提交时间：2012/08/29 |
| 一种用于ＥＵＶ光刻系统的复眼反射镜制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 金春水; 王辉; 郑琪峰; 周烽; 王丽萍
Adobe PDF(266Kb) | 收藏 | 浏览/下载：499/86 | 提交时间：2012/08/29 |
| 一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 王辉; 周烽; 郑琪峰; 王丽萍; 金春水
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