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一种用于ＥＵＶ光刻系统的复眼反射镜制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  金春水;  王辉;  郑琪峰;  周烽;  王丽萍
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一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  王辉;  周烽;  郑琪峰;  王丽萍;  金春水
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