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Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
浏览  |  Adobe PDF(2105Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：169/44  |  提交时间：2021/07/06
薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:  张超;  张杰瑞;  王一名;  匡尚奇;  谢耀
caj(892Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/125  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  多层膜设计  量子进化算法  宽角度极紫外多层膜  
基于聚类全局优化算法的薄膜设计优化技术的研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 09, 页码: 373-378
作者:  李资政;  杨海贵;  王笑夷;  王彤彤;  申振峰;  高劲松
caj(1279Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：272/90  |  提交时间：2016/07/06
薄膜  膜系设计优化  聚类算法  全局优化算法  
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇
caj(1793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：281/111  |  提交时间：2016/07/06
薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线  
单元超透镜模式分析及其亚波长成像特性研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 12, 页码: 71-75
作者:  余慕欣;  周文超;  吴一辉
caj(607Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/108  |  提交时间：2015/04/17
图像处理  超分辨  薄膜  表面等离子体  金属光学  
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/102  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法  
光学透明频率选择表面的衍射特性 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 08, 页码: 317-322
作者:  于淼;  高劲松;  徐念喜
caj(2800Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：457/104  |  提交时间：2014/03/07
薄膜  频率选择表面  金属网栅  衍射特性  复合制导  
提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 289-294
作者:  祝文秀;  金春水;  匡尚奇;  喻波
caj(902Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：559/134  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  多层膜  光谱纯度  极紫外  
月球表面环境对Mo/Si多层膜光学特性的影响 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 09, 页码: 310-315
作者:  刘震;  高劲松;  陈波;  王彤彤;  王笑夷;  申振峰;  陈红
caj(2043Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：624/106  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  多层膜  热稳定性  辐照稳定性  反射率  等离子体层  
结合傅里叶变换合成法设计均匀薄膜 期刊论文
光学学报, 2008, 期号: 12
作者:  朱华新;  高劲松;  王笑夷;  王彤彤;  陈红;  郑宣明;  申振峰;  李香波;  尹少辉;  刘小涵;  王珊珊
caj(312Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：518/96  |  提交时间：2012/09/25
光学薄膜  傅里叶变换合成法  均匀薄膜  单纯形调法