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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
 caj(8435Kb) |  收藏 | 浏览/下载：166/0 | 提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| 单轴柔性换向机构刚度分析 期刊论文
机械设计与制造, 2017, 页码: 250-253
作者: 毛石磊; 田伟; 郭抗; 杨洪波
caj(244Kb) | 收藏 | 浏览/下载：330/84 | 提交时间：2018/04/09
柔性铰链 柔度矩阵 有限元 刚度分析 |
| Ф620mm口径地基反射镜组件优化设计 期刊论文
红外与激光工程, 2017, 页码: 198-206
作者: 兰斌; 杨洪波; 吴小霞; 王富国; 郭鹏
caj(746Kb) | 收藏 | 浏览/下载：340/91 | 提交时间：2018/04/09
地基反射镜组件 运动学支撑原理 柔性铰链 柔度矩阵 径向基函数 多目标优化设计 |
| Optimal design of 620 mm ground mirror assembly 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 1
作者: Lan, B.; H. Yang; X. Wu; F. Wang and P. Guo
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| Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者: Dong, L.; Q. Cui; P. Li and L. Zhao
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| Flexible passive support system for 2 m SiC reflective mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10
作者: Wang, F.-G.; B. Qiao and J.-X. Zhang
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| 电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者: 张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗
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电容传感器 线性度标定 标定平台 柔度矩阵 |
| Optimization design and error distribution for secondary mirror adjusting mechanism of large optical payload 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者: Han, C.-Y.; Z.-B. Xu; Q.-W. Wu; S. He and Y. Yu
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| Nonlinear analysis of preload of pins in the space planar mirror assembly 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2016, 卷号: 45, 期号: 2
作者: Li, M.-Q.; L. Zhang; Z.-X. Li; L.-N. Xing and X.-Z. Jia
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| Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者: Zhang, D.; X. Li; C. Ge; M. Ni and K. Guo
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