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光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794
作者:  张德福;  孙振
caj(302Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：215/65  |  提交时间：2015/04/17
光刻投影物镜  位移缩小机构  完全解耦  波像差  
调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298
作者:  张德福;  李显凌
caj(743Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：429/87  |  提交时间：2015/04/17
光学器件  深紫外光刻  投影物镜  像差补偿  偏心调节机构  调节力  面形  
TMT三镜系统Tilt Mechanism组件技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵宏超
Adobe PDF(5709Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/1  |  提交时间：2014/08/21
2m望远镜K镜支撑结构优化设计 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 6, 页码: 1914-1919
作者:  郭鹏;  张景旭;  杨飞;  张岩;  矫威
caj(974Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/75  |  提交时间：2015/04/17
柔性支撑  优化设计  K镜  消旋  
基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275
作者:  张德福;  赵磊
caj(660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：283/69  |  提交时间：2015/04/17
光刻投影物镜  微调整机构  光机结构  波像差