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| 1.23m SiC主镜的本征模式主动光学校正 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2551-2563
作者: 朱熠; 陈涛; 王建立; 李宏壮; 吴小霞
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主动光学 Sic主镜 面形校正 本征模式 S-h传感器 |
| 广义最小二乘法在主动光学模式定标中的应用 期刊论文
红外与激光工程, 2017, 页码: 145-151
作者: 兰斌; 吴小霞; 杨洪波; 蒋权; 张正铎
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主动光学 模式定标 4m轻量化反射镜 液压whiffletree支撑 广义最小二乘法 |
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福 ; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑; 张建国
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集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者: 东立剑; 崔庆龙; 李朋志; 赵磊
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光学设计 光刻物镜 热像差 主动光学 像散 响应函数 |
| 地基大口径望远镜主镜主动支撑系统综述 期刊论文
激光与红外, 2017, 页码: 5-12
作者: 胡佳宁; 董吉洪; 周平伟
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大口径望远镜 主镜 主动光学 主动支撑 |
| Application of interface preprocessing in opto-mechanical system dynamics analysis and surface shape optimization 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 6
作者: Lan, B.; H.-B. Yang; X.-X. Wu; J.-X. Zhang and X.-Y. Liu
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| Application of generalized least squares method in the calibration of active optics mode 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 6
作者: Lan, B.; X. Wu; H. Yang; Q. Jiang and Z. Zhang
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| Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者: Dong, L.; Q. Cui; P. Li and L. Zhao
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| Active correction of 1.23 m SiC mirror using bending mode 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10
作者: Zhu, Y.; T. Chen; J.-L. Wang; H.-Z. Li and X.-X. Wu
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| Tuned damping technique for large telescope 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 8
作者: Zhao, Y.; Q. An and X. Han
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