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Optical System Design of Full-Spectrum Hyperspectral Imaging Spectrometer 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2022, 卷号: 42, 期号: 23
作者:  J. Ma;  J. Zhang;  C. Wu;  X. Li;  T. Lu and B. Yang
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微透镜阵列积分视场成像光谱仪的研究与设计 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  刘嘉楠
caj(5553Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：187/0  |  提交时间：2020/08/24
成像光谱仪  积分视场成像光谱仪  微透镜阵列  傅里叶光学  光学设计  
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：166/0  |  提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜  
Design and analysis of medium wave infrared miniature static Fourier transform spectrometer 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2018, 卷号: 67, 期号: 6, 页码: 11
作者:  Wang, H. L.;  Lu, J. G.;  Liang, J. Q.;  Liang, Z. Z.;  Qin, Y. X.;  Wang, W. B.
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medium wave infrared Fourier transform spectrometer  diffraction  microstructure  microlens array  resolution  spectroscopy  simulation  lenses  Physics  
Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者:  Xu, M.-F.;  W.-B. Pang;  X.-R. Xu;  X.-H. Wang and W. Huang
浏览  |  Adobe PDF(487Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/79  |  提交时间：2017/09/11
Effect of alignment errors of reticle on distortion in lithographic projection lens 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 3
作者:  Yang, W.;  W. Huang and H.-B. Shang
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Extreme ultraviolet lithography objective design based on grouping and graphical user interface 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 12
作者:  Wang, J.;  L. Wang;  C. Jin;  L. Miao and Y. Xie
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光刻物镜光瞳极平衡性标定方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 9, 页码: 282-289
作者:  芮大为;  史振广;  袁文全;  张巍
caj(390Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/97  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  光刻物镜  光瞳极平衡  远心度  
光学材料均匀性对光学系统像质影响研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  杨添星
Adobe PDF(11650Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/3  |  提交时间：2014/03/15
均匀性  投影光刻物镜  光线追迹  光学设计  
投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122003-1-4
作者:  杨旺
Adobe PDF(401Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：366/99  |  提交时间：2012/05/11