|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式： |
| 微透镜阵列积分视场成像光谱仪的研究与设计 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 刘嘉楠
 caj(5553Kb) |  收藏 | 浏览/下载：202/0 | 提交时间：2020/08/24
成像光谱仪 积分视场成像光谱仪 微透镜阵列 傅里叶光学 光学设计 |
| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
caj(8435Kb) | 收藏 | 浏览/下载：178/0 | 提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者: Xu, M.-F.; W.-B. Pang; X.-R. Xu; X.-H. Wang and W. Huang
Adobe PDF(487Kb) | 收藏 | 浏览/下载：316/82 | 提交时间：2017/09/11 |
| Effect of alignment errors of reticle on distortion in lithographic projection lens 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 3
作者: Yang, W.; W. Huang and H.-B. Shang
Adobe PDF(1721Kb) | 收藏 | 浏览/下载：282/80 | 提交时间：2017/09/11 |
| 光刻物镜光瞳极平衡性标定方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 9, 页码: 282-289
作者: 芮大为; 史振广; 袁文全; 张巍
caj(390Kb) | 收藏 | 浏览/下载：321/102 | 提交时间：2015/04/17
光学设计 光刻物镜 光瞳极平衡 远心度 |
| 光学材料均匀性对光学系统像质影响研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 杨添星
Adobe PDF(11650Kb) | 收藏 | 浏览/下载：351/3 | 提交时间：2014/03/15
均匀性 投影光刻物镜 光线追迹 光学设计 |
