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Research progress of gas absorption spectrum detection technology based on photonic crystal fiber 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2021, 卷号: 29, 期号: 10
作者:  J. Li;  H. Yan and J. Meng
Adobe PDF(1542Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：89/37  |  提交时间：2022/06/13
飞秒脉冲激光对硅基多层膜损伤特性 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 02, 页码: 371-381
作者:  郑长彬;  邵俊峰;  李雪雷;  王化龙;  王春锐;  陈飞;  王挺峰;  郭劲
caj(2029Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：139/45  |  提交时间：2020/08/24
激光烧蚀  激光损伤  硅基多层膜  损伤阈值  
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
Adobe PDF(985Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：353/117  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
Adobe PDF(2558Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：312/105  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264
作者:  戴岑;  巩岩;  张昊;  李佃蒙;  薛金来
收藏  |  浏览/下载：171/0  |  提交时间：2019/09/17
共焦显微  微分干涉差  标量衍射  膜层结构  缺陷探测  
Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:  Wang, Y.;  Q. Lu and Y. Gao
Adobe PDF(284Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/104  |  提交时间：2018/06/13
Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:  Zhang, C.;  J. Zhang;  Y. Wang;  S. Kuang and Y. Xie
Adobe PDF(1065Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/79  |  提交时间：2018/06/13
大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  孙梦至
Adobe PDF(3757Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：288/3  |  提交时间：2016/04/11
中阶梯光栅  高质量铝膜  大面积均匀性  多步沉积  
厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210255733.0, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19
发明人:  梁静秋 梁中翥 郑莹
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厚膜倒装调整与定位生长多层膜混合制作多级微反射镜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210255713.3, 申请日期: 2014-10-15, 公开日期: 2014-10-15
发明人:  梁静秋;  梁中翥;  郑莹
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