Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法 | |
| 梁静秋 梁中翥 郑莹 | |
| 2014-11-19 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2014-11-19 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 摘要 | 本发明涉及一种厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法，包括如下步骤：制作2N个原始基片并对其进行清洗处理；在原始基片上光刻出所需掩膜图形，然后沉积薄膜材料，剥离光刻胶，形成膜层结构；在基底上光刻出掩蔽图形，并沉积一层厚度小于h的膜层；分别将前N个倒置的带结构基片定位在基底特定位置上，并固定在一起，形成多级微反射镜；在多级微反射镜上表面沉积增反射膜层。本发明有效提高了阶梯表面粗糙度的控制精度，且阶梯垂直高度的实时监测，使得横向尺寸精度高，工艺可控性强。 |
| 专利号 | 201210255733.0 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | 201210255733.0 |
| PCT属性 | 是 |
| 专利代理人 | 张伟 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42125 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋 梁中翥 郑莹. 厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法. 201210255733.0[P]. 2014-11-19. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN201210255733-厚膜倒装调（2386KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [梁静秋 梁中翥 郑莹]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [梁静秋 梁中翥 郑莹]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [梁静秋 梁中翥 郑莹]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论