中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助

  只显示已认领条目
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
Adobe PDF(2558Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：308/104  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264
作者:  戴岑;  巩岩;  张昊;  李佃蒙;  薛金来
收藏  |  浏览/下载：170/0  |  提交时间：2019/09/17
共焦显微  微分干涉差  标量衍射  膜层结构  缺陷探测  
N.A.0.75平场复消色差显微物镜光学设计 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 06, 页码: 957-963
作者:  薛金来;  巩岩;  李佃蒙
caj(524Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：280/98  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  显微物镜  平场复消色差  大视场