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微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统
戴岑; 巩岩; 张昊; 李佃蒙; 薛金来
2018
发表期刊中国光学
期号02页码:255-264
摘要多层膜极紫外光刻掩模"白板"缺陷是制约下一代光刻技术发展的瓶颈之一,为提高对掩模"白板"上的膜层微结构缺陷的分辨能力,提出了一种微分干涉差共焦显微探测系统方案。基于标量衍射理论,计算了系统横向和轴向分辨率。利用MATLAB建模仿真,在数值孔径为0.65、工作波长为405 nm时,分析比较了微分干涉差共焦显微系统、传统显微系统和共焦显微系统的分辨率。结果表明微分干涉差共焦显微系统具有230 nm的横向分辨率和25 nm轴向台阶高度差的分辨能力(对应划痕等缺陷形式)。此外,仿真和分析了实际应用中探测器尺寸、样品轴向偏移等的影响,模拟分析了膜层微结构缺陷的探测,结果表明本系统可以探测200 nm宽、10 nm高的微结构缺陷,较另外两种系统有更好的探测能力。
关键词共焦显微 微分干涉差 标量衍射 膜层结构 缺陷探测
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61484
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
戴岑,巩岩,张昊,等. 微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统[J]. 中国光学,2018(02):255-264.
APA 戴岑,巩岩,张昊,李佃蒙,&薛金来.(2018).微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统.中国光学(02),255-264.
MLA 戴岑,et al."微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统".中国光学 .02(2018):255-264.
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