厚膜倒装调整与定位生长多层膜混合制作多级微反射镜的方法

	厚膜倒装调整与定位生长多层膜混合制作多级微反射镜的方法
	梁静秋; 梁中翥; 郑莹
	2014-10-15
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2014-10-15
授权国家	中国
专利类型	发明
摘要	本发明涉及一种厚膜倒装调整与定位生长多层膜混合制作多级微反射镜的方法，包括制作2M个原始基片并对其进行清洗处理；在原始基片上光刻出所需掩膜图形，然后沉积薄膜材料，剥离光刻胶，形成膜层结构；在基底上光刻出掩蔽图形；分别将M个倒置的带结构基片定位在基底特定位置上，并固定在一起，形成M个台阶结构；再在此结构面上光刻出掩膜胶图形，沉积薄膜，剥离光刻胶，形成膜层结构；在多级微反射镜上表面沉积增反射膜层。本发明有效提高了阶梯表面粗糙度的控制精度，横纵向尺寸精度高，工艺重复性好，可控性强，不用化学腐蚀，减少污染，是制作较多台阶数目的多级微反射镜的有效方法。
专利号	201210255713.3
语种	中文
专利状态	公开
申请号	201210255713.3
PCT属性	是
专利代理人	张伟
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42098
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,梁中翥,郑莹. 厚膜倒装调整与定位生长多层膜混合制作多级微反射镜的方法. 201210255713.3[P]. 2014-10-15.

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CN201210255713-厚膜倒装调（2617KB）			开放获取	CC BY-NC-ND	浏览下载