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| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao
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| Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者: Zhang, C.; J. Zhang; Y. Wang; S. Kuang and Y. Xie
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| 大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 孙梦至
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中阶梯光栅 高质量铝膜 大面积均匀性 多步沉积 |
| 厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210255733.0, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19
发明人: 梁静秋 梁中翥 郑莹
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| 厚膜倒装调整与定位生长多层膜混合制作多级微反射镜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210255713.3, 申请日期: 2014-10-15, 公开日期: 2014-10-15
发明人: 梁静秋 ; 梁中翥; 郑莹
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| P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 靳京城
Adobe PDF(2780Kb) | 收藏 | 浏览/下载：345/2 | 提交时间：2014/08/21 |
| ArF准分子激光高反射薄膜技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 常艳贺
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| 太阳极紫外成像光谱仪光学系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 刘壮
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| 极紫外光学器件辐照污染检测技术 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者: 王珣; 金春水; 匡尚奇; 喻波
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极紫外光刻 碳污染检测 光纤椭偏仪 |
| Investigations of high-quality aluminum film with large-area uniformity for large-size echelle grating 期刊论文
Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica, 2014, 卷号: 63, 期号: 15
作者: Li Z.-Z.; Yang H.-G.; Wang X.-Y.; Gao J.-S.
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