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二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
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二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
扭转角测量系统中焦距误差分析 期刊论文
应用光学, 2020, 卷号: 41, 期号: 03, 页码: 477-481
作者:  杨文昌;  王志乾;  宋卓达;  杜闻;  李勤文
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扭转变形  莫尔条纹  光学系统  焦距  
五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文） 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 189-202
作者:  吕强;  王玮;  刘兆武;  宋莹;  姜珊;  刘林;  巴音贺希格;  李文昊
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衍射光栅  精密测量  五维自由度  
Overview of 2D grating displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:  Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
Adobe PDF(6951Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：75/24  |  提交时间：2021/07/06
Grating-based precision measurement system for five-dimensional measurement 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 1, 页码: 189-202
作者:  Q. Lv,W. Wang,Z.-W. Liu,Y. Song,S. Jiang,L. Liu,Bayanheshig and W.-H. Li
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Development of grating-based precise displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 741-752
作者:  X.Gao;  S.-H.Li;  Q.-L.Ma;  W.Chen
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Displacement measurement,Diffraction gratings,Machinery,Manufacture  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
浏览  |  Adobe PDF(403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：259/100  |  提交时间：2019/09/17
Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts  
Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5
作者:  Song, Y.;  X. Zhao;  Y. Jiang;  Bayanheshig and X. Qi
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A Detection System Design of Echelle Diffraction Efficiency and Stray Coefficient 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 卷号: 37, 期号: 8
作者:  Shen, C. Y.;  J. C. Cui;  C. Sun;  W. Wang;  J. J. Chen and X. T. Li
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基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31
作者:  卢禹先;  齐向东;  糜小涛;  姜珊;  于海利;  李晓天;  尹禄
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衍射  光栅拼接  干涉仪  衍射波前  拼接误差