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Compact pulsed CO2 laser with wavelength automatic tuning 期刊论文
Chinese Optics, 2022, 卷号: 15, 期号: 5, 页码: 1007-1012
作者:  Q.-K. Pan;  F.-C. Miao;  H.-L. Si;  H. Shen;  F. Gao;  D.-Y. Yu;  K. Zhang;  R.-R. Zhang;  C.-X. Zhao;  F. Chen and J. Guo
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Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Zhang, Chao;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
浏览  |  Adobe PDF(1699Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：367/101  |  提交时间：2019/09/17
Quantum theory  Fabrication  Genetic algorithms  Magnetron sputtering  Multilayers  Reflection  
Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7
作者:  Wang, H.;  F. Zhou;  B. Yu;  Y. Xie;  J. Yu;  Y. Liu and L. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/92  |  提交时间：2016/08/24
Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究 期刊论文
物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225
作者:  赵永蓬;  徐强;  肖德龙;  丁宁;  谢耀;  李琦;  王骐
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极紫外光刻光源  毛细管放电  磁流体力学  Xe等离子体  
“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 544-550
作者:  姜振华;  王挺峰;  郭劲
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极紫外光源  Co2激光器  参数监测  指向控制  
Time behavior and optimum conditions for the Xe gas extreme ultraviolet source 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2013, 卷号: 62, 期号: 24
作者:  Zhao Y. P.;  Xu Q.;  Xiao D. L.;  Ding N.;  Xie Y.;  Li Q.;  Wang Q.
Adobe PDF(494Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：419/88  |  提交时间：2014/05/14
一种微流靶激光等离子体软Ｘ射线－极紫外光源 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-05-18, 公开日期: 2011-05-18
发明人:  尼启良;  陈波
Adobe PDF(471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：409/45  |  提交时间：2012/08/29
深紫外光刻复杂照明光学系统设计 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  赵阳
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一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-01-13, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  巩岩;  李顺;  张巍
Adobe PDF(239Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：442/50  |  提交时间：2012/08/29
CO_2_O_2_CF_4液体微滴喷射靶激光等离子体光源光谱 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2008, 期号: 11
作者:  尼启良;  陈波
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