中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (发明)
	巩岩; 李顺; 张巍
	2010-01-13
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置，属于短波段光学技术领域涉及的一种成像质量测试装置，要解决的技术问题是：提供一种极紫外成像光学仪器的成像质量测试装置。解决的技术方案：包括极紫外光源、金属栅网、离轴抛物面反射镜、待测极紫外成像光学系统、极紫外相机。在极紫外光源的光的传播放方向上，依次放置金属栅网、离轴抛物面反射镜，……
资助项目	101625281
申请号	200910067350.9
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11638
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	巩岩,李顺,张巍. 一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (发明)[P]. 2010-01-13.

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CN201010162528100000（239KB）			开放获取	--	浏览 下载

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