Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种微流靶激光等离子体软X射线-极紫外光源 (发明) | |
尼启良![]() ![]() | |
2011-05-18 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2011-05-18 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 一种微流靶激光等离子体软X射线-极紫外光源,属于软X射线-极紫外光学技术领域中涉及的一种激光等离子体光源。要解决的技术问题是:提供一种微流靶激光等离子体软X射线-极紫外光源,解决技术问题的技术方案包括窗口、激光束、聚光透镜、真空靶室、金属制冷管、喷嘴、液体微流靶、真空泵;绝热壳体、致冷器支架、半导体致冷器、导热金属板、…… |
资助项目 | 101111119B |
申请号 | 200610017031.3 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11481 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 尼启良,陈波. 一种微流靶激光等离子体软X射线-极紫外光源 (发明)[P]. 2011-05-18. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN200810111111900000(471KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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