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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [7]
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杨海贵 [1]
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Compact pulsed CO2 laser with wavelength automatic tuning
期刊论文
Chinese Optics, 2022, 卷号: 15, 期号: 5, 页码: 1007-1012
作者:
Q.-K. Pan
;
F.-C. Miao
;
H.-L. Si
;
H. Shen
;
F. Gao
;
D.-Y. Yu
;
K. Zhang
;
R.-R. Zhang
;
C.-X. Zhao
;
F. Chen and J. Guo
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提交时间:2023/06/14
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Zhang, Chao
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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提交时间:2019/09/17
Quantum theory
Fabrication
Genetic algorithms
Magnetron sputtering
Multilayers
Reflection
Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7
作者:
Wang, H.
;
F. Zhou
;
B. Yu
;
Y. Xie
;
J. Yu
;
Y. Liu and L. Wang
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提交时间:2016/08/24
Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究
期刊论文
物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225
作者:
赵永蓬
;
徐强
;
肖德龙
;
丁宁
;
谢耀
;
李琦
;
王骐
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提交时间:2014/03/07
极紫外光刻光源
毛细管放电
磁流体力学
Xe等离子体
“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统
期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 544-550
作者:
姜振华
;
王挺峰
;
郭劲
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提交时间:2014/03/07
极紫外光源
Co2激光器
参数监测
指向控制
Time behavior and optimum conditions for the Xe gas extreme ultraviolet source
期刊论文
Acta Physica Sinica, 2013, 卷号: 62, 期号: 24
作者:
Zhao Y. P.
;
Xu Q.
;
Xiao D. L.
;
Ding N.
;
Xie Y.
;
Li Q.
;
Wang Q.
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提交时间:2014/05/14
CO_2_O_2_CF_4液体微滴喷射靶激光等离子体光源光谱
期刊论文
光谱学与光谱分析, 2008, 期号: 11
作者:
尼启良
;
陈波
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提交时间:2012/09/25
13_9和19_6nm正入射Mo_Si多层膜反射镜的反射率测量
期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:
董宁宁
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提交时间:2012/09/25
Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验
期刊论文
光学精密工程, 2006, 卷号: 6, 期号: 14, 页码: 939
作者:
尼启良
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提交时间:2012/09/25