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光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/88  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：266/129  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散  
高精度光学平板在三点支撑下自重变形的研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 157-165
作者:  武东城;  高松涛;  吴志会;  彭石军;  曲艺;  苏东奇;  苗二龙
caj(1516Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：431/109  |  提交时间：2016/07/06
光学器件  三点支撑  自重变形  有限元法  
超大口径光学制造的静压支撑系统集成与控制 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 256-264
作者:  胡海飞;  罗霄;  戚二辉;  胡海翔;  郑立功
caj(5315Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：424/84  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  均力静压支撑  调整精度  超大口径反射镜  在线加工检测  
矩形反射镜结构支撑技术研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 345-352
作者:  李海星;  丁亚林;  张洪文
caj(1805Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：215/89  |  提交时间：2016/07/06
光学器件  光学遥感器  反射镜  结构支撑  离轴三反  柔性支撑  
大口径空间反射镜Cartwheel型柔性支撑设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 218-226
作者:  李宗轩;  陈雪;  张雷;  金光;  张元;  贾学志;  孔林
caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/105  |  提交时间：2015/04/17
光学器件  反射镜支撑  Cartwheel铰链  无量纲方法  有限元方法  动力学实验  
基于浮动支撑的620mm薄反射镜面形主动校正 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 05, 页码: 87-95
作者:  李宏壮;  张振铎;  王建立;  刘欣悦;  吴小霞;  张丽敏;  张斌;  王亮
caj(1470Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/95  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  主动光学  面形误差校正  薄反射镜  浮动支撑  最小二乘法  
光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 09, 页码: 224-229
作者:  赵磊;  巩岩
caj(1523Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：463/128  |  提交时间：2013/03/11
光学器件  光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形  
旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 0812004-1
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1572Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：571/180  |  提交时间：2012/05/11
干涉检测中环境温度引起的镜面变形分析 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 112007
作者:  史振广;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：443/128  |  提交时间：2012/05/11