Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析 | |
赵磊 ; 巩岩
| |
| 2012-09-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 09页码:224-229 |
| 关键词 | 光学器件 光刻投影物镜 透镜支撑结构 自重变形 热变形 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27576 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵磊,巩岩. 光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析[J]. 光学学报,2012(09):224-229. |
| APA | 赵磊,&巩岩.(2012).光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析.光学学报(09),224-229. |
| MLA | 赵磊,et al."光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析".光学学报 .09(2012):224-229. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析（1523KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [赵磊]的文章 |
| [巩岩]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [赵磊]的文章 |
| [巩岩]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [赵磊]的文章 |
| [巩岩]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论