Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 超大口径光学制造的静压支撑系统集成与控制 | |
胡海飞 ; 罗霄; 戚二辉; 胡海翔; 郑立功
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| 2015-08-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
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| 期号 | 08页码:256-264 |
| 摘要 | 在超大口径光学制造中,镜体背部空间狭小,转台承载能力有限,要求光学制造的支撑结构尽量简单;镜体承受加工载荷且弥漫加工磨料,要求支撑系统对加工载荷和环境不敏感;此外,为便于在线检测,缩短检测周期,还要求支撑系统具有较高的调整精度和稳定性。设计了一种均力型静压支撑系统,先测试了单个支撑的均力性及刚度,预测了压印效应的大小;随后阐述了支撑系统的控制方法;最后实现了系统集成及其图形用户界面(GUI)界面操作。将该系统用于2m Si C反射镜的光学加工,可将压印效应均方根(RMS)值控制到13.1 nm≈λ/48,满足加工需要;用于立式检测,系统对镜体倾斜和俯仰角可监测到的角度范围为0.34″~0.48°,以及沿Z方向±5 mm的运动;对应曲率中心在XY平面的调节范围d R最大值50 mm,最小值为10μm,与电荷耦合器件(CCD)像元尺寸接近,满足立式检测需要。对目前具有重大需求的2~4 m量级反射镜而言,该系统具有较好的适用性。 |
| 关键词 | 光学制造 均力静压支撑 调整精度 超大口径反射镜 在线加工检测 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53438 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡海飞,罗霄,戚二辉,等. 超大口径光学制造的静压支撑系统集成与控制[J]. 光学学报,2015(08):256-264. |
| APA | 胡海飞,罗霄,戚二辉,胡海翔,&郑立功.(2015).超大口径光学制造的静压支撑系统集成与控制.光学学报(08),256-264. |
| MLA | 胡海飞,et al."超大口径光学制造的静压支撑系统集成与控制".光学学报 .08(2015):256-264. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 超大口径光学制造的静压支撑系统集成与控制（5315KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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