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扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/82  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
猫眼法绝对测量干涉仪出射波前 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 12, 页码: 201-206
作者:  苏东奇;  苗二龙;  曲艺;  隋永新
caj(3041Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/130  |  提交时间：2016/07/06
测量  光学检测  猫眼  菲索干涉仪  波前  
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格;  唐玉国
caj(1313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/163  |  提交时间：2016/07/06
光栅  衍射光栅  光栅刻划机  气浮导轨  双频激光干涉仪  刀架系统  
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:  方超;  向阳
caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：390/92  |  提交时间：2015/04/17
测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原  
高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140
作者:  王辉;  于杰;  周烽;  王丽萍
caj(551Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：656/154  |  提交时间：2013/03/11
测量  极紫外光刻  高重复性干涉仪  有限元分析  检测支撑  
点衍射干涉仪波前参考源标定算法的研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 03, 页码: 177-183
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(983Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：514/89  |  提交时间：2013/03/11
测量  标定算法  波前参考源  相移点衍射干涉仪  
法布里-珀罗型光学梳状滤波器的设计 期刊论文
中国激光, 2004, 期号: 01, 页码: 74-76
作者:  邵永红;  姜耀亮;  郑权;  钱龙生
caj(44Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：404/77  |  提交时间：2013/03/11
光电子学  光学梳状滤波器  Gires-tournois谐振腔  Michelson干涉仪