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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：200/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| Development and measurement of a parallel-type self-decoupling 2-dimension micro-motion stage 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 7
作者: Qi, K.-Q. ; Y. Xiang; Y.-L. Ding; C. Fang and Z.-P. Zhou
 浏览 |  Adobe PDF(644Kb) | 收藏 | 浏览/下载：339/101 | 提交时间：2018/06/13 |
| Absolute testing of interferometer wavefront using cat's-eye test 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 12
作者: Su, D.; E. Miao; Y. Qu and Y. Sui
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| 十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者: 方超; 向阳
caj(603Kb) | 收藏 | 浏览/下载：369/92 | 提交时间：2015/04/17
测量 横向剪切干涉仪 相移算法 相位复原 |
| S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 赵菲菲
Adobe PDF(2200Kb) | 收藏 | 浏览/下载：416/1 | 提交时间：2014/03/15
计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |
| 基于FPGA的SPGD自适应光学控制平台研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 张超
Adobe PDF(2450Kb) | 收藏 | 浏览/下载：275/1 | 提交时间：2014/03/15
Spgd 自适应光学 Fpga 硬件设计 |
| 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
作者: 于长淞; 齐克奇; 张春雷; 向阳
caj(447Kb) | 收藏 | 浏览/下载：472/133 | 提交时间：2014/03/07
剪切干涉 光栅移相 压电陶瓷 有限元 |
| 数字横向剪切干涉仪相移技术 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2244-2251
作者: 何煦; 向阳
caj(1178Kb) | 收藏 | 浏览/下载：449/121 | 提交时间：2014/03/07
光学测量 波像差 相移式干涉仪 剪切干涉仪 柔性铰链 |
| 九步相移抗串扰算法的相移误差分析 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 21-23
作者: 方超
caj(1304Kb) | 收藏 | 浏览/下载：525/147 | 提交时间：2013/03/11
横向剪切干涉仪 九步相移算法 相移误差 |
| 一种高精度横向剪切干涉仪相移装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-27, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 何煦; 向阳
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