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Method of improving the accuracy of absolute linear encoder using regression analysis 期刊论文
Huazhong Keji Daxue Xuebao (Ziran Kexue Ban)/Journal of Huazhong University of Science and Technology (Natural Science Edition), 2015, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 21-23 and 79
作者:  Qiao, D.;  Z. Xu;  H. Wu and Q. Zeng
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光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：242/2  |  提交时间：2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
作者:  于长淞;  齐克奇;  张春雷;  向阳
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：446/119  |  提交时间：2014/03/07
剪切干涉  光栅移相  压电陶瓷  有限元  
快速反射镜系统用光栅测微仪 期刊论文
光电工程, 2011, 卷号: 38, 期号: 10, 页码: 115-119
作者:  韩旭东;  徐新行;  王兵;  王恒坤;  刘长顺
Adobe PDF(2051Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/130  |  提交时间：2012/05/11
高精度移相Fizeau干涉仪误差分析及干涉信息处理 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  刘艳
Microsoft Word(7023Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：266/2  |  提交时间：2013/02/28