Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 | |
于长淞 ; 齐克奇; 张春雷; 向阳
| |
| 2013-11-15 | |
| 发表期刊 | 电子测量与仪器学报
 |
| 期号 | 11页码:1099-1104 |
| 摘要 | 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪具有很高的检测精度,为满足相移的需要,光栅移相装置需要拥有较大的行程,是干涉仪的关键器件之一。根据干涉仪需求设计了基于柔性铰链及桥式放大机构并利用压电陶瓷驱动的光栅移相装置,利用有限元分析方法对其受力和形变特性进行了分析。利用PI公司的电容传感器及数字压电控制器搭建了测试平台对其进行了测试,获得了开环条件下迟滞特性曲线,在输出电压为100 V时,光栅移相装置的行程可达225μm。实验结果表明,光栅移相装置的行程与理论设计指标接近,满足设计要求。 |
| 关键词 | 剪切干涉 光栅移相 压电陶瓷 有限元 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38937 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于长淞,齐克奇,张春雷,等. 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计[J]. 电子测量与仪器学报,2013(11):1099-1104. |
| APA | 于长淞,齐克奇,张春雷,&向阳.(2013).基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计.电子测量与仪器学报(11),1099-1104. |
| MLA | 于长淞,et al."基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计".电子测量与仪器学报 .11(2013):1099-1104. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统（447KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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